滲碳 Case hardening是使金屬物體表面硬化的過程，同時保持深層部分保持柔軟，從而在金屬表面形成一層硬化層。滲碳淬火處理的物體和穿透式淬火Through hardening相比有更好的耐沖擊、耐磨損性能。
滲碳典型工藝步驟
將真空爐室由大氣壓抽至10-1或10-2 mbar 除氧 . 氮?dú)獗Ｗo(hù)氛圍下通過對流的方式將工件加熱至 750°C.真空條件下進(jìn)一步加熱至滲碳溫度 。滲碳階段，開始摻氣，工作壓強(qiáng)10 到 20 mbar，相同溫度和壓強(qiáng)下進(jìn)行擴(kuò)散工藝。
低壓/真空滲碳對真空系統(tǒng)的挑戰(zhàn)
使用不同氣體對真空系統(tǒng)的影響不同；
穩(wěn)定的真空性能
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